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五大核心技術(shù) SOLUTION

高純金屬純度控制及提純技術(shù)

由于金屬材料中的雜質(zhì)會(huì)影響半導(dǎo)體芯片等下游產(chǎn)品的導(dǎo)電性能，因此，濺射靶材對(duì)金屬材料的純度提出了相當(dāng)高的要求。公司通過(guò)自主研發(fā)和合作研發(fā)，已經(jīng)具備生產(chǎn)高純度的濺射靶材用金屬材料（銅純度≥99.9999%；鋁、鈦純度≥99.999%；鉭純度≥99.99%）的技術(shù)能力，大大提升企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
晶粒晶向控制技術(shù)

晶粒的大小、排列方向直接決定了濺射成膜的均勻性和濺射速度，影響下游產(chǎn)品的品質(zhì)和性能，因此，晶粒晶向的控制是濺射靶材生產(chǎn)過(guò)程中的核心技術(shù)。公司擁有金屬材料塑性變形加工生產(chǎn)線(xiàn)及內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)檢測(cè)設(shè)備，通過(guò)科學(xué)的工藝安排，能夠?qū)Я＞驅(qū)嵤┚_的控制。
異種金屬大面積焊接技術(shù)

焊接技術(shù)是將靶坯與背板牢固地焊接在一起的技術(shù)，公司已經(jīng)掌握了鋁、鈦、鉭、銅等高純金屬靶坯與背板之間的電子束焊接、擴(kuò)散焊接、釬焊等技術(shù)，產(chǎn)品平均焊接結(jié)合率達(dá)99%以上，并確保相當(dāng)高的焊接強(qiáng)度。其中，公司自主研發(fā)了針對(duì)鋁靶、鈦靶的擴(kuò)散焊接技術(shù)，在產(chǎn)品焊接之前，通過(guò)改進(jìn)靶坯和背板的粘合結(jié)構(gòu)，較大地改進(jìn)了焊接成品率，可以使焊接成品率達(dá)到100%，焊接結(jié)合率達(dá)到99.9%以上。
金屬的精密加工及特殊處理技術(shù)

下游客戶(hù)用于靶材濺射的機(jī)臺(tái)十分精密，對(duì)濺射靶材的尺寸要求很高，較小的偏差會(huì)影響濺射反應(yīng)過(guò)程和濺射產(chǎn)品的性能，公司擁有一批加工中心、數(shù)控車(chē)床等大型精密加工設(shè)備，能夠?qū)Ξa(chǎn)品尺寸和偏差進(jìn)行精確的控制，產(chǎn)品尺寸公差在10微米以下，表面粗糙度在0.4微米以下。
靶材的清洗包裝技術(shù)

下游客戶(hù)的生產(chǎn)環(huán)境、濺射反應(yīng)機(jī)臺(tái)腔體對(duì)濺射靶材的潔凈程度要求很高，公司運(yùn)用自主設(shè)計(jì)的靶材全自動(dòng)清洗機(jī)進(jìn)行反復(fù)的產(chǎn)品清洗，在真空環(huán)境下使產(chǎn)品干燥，用于生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的濺射靶材表面潔凈度能夠達(dá)到電子級(jí)水平。

關(guān)于江豐

ABOUT KFMI

寧波江豐電子材料股份有限公司創(chuàng)建于2005年，專(zhuān)業(yè)從事超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn)，是國(guó)家科技部、發(fā)改委及工信部重點(diǎn)扶植的高新技術(shù)企業(yè)。公司已于2017年6月在深交所成功上市，股票代碼300666。

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